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感測器技術新原理◕✘▩、新材料和新技術的研究更加深入
點選次數◕◕₪✘·:258 釋出時間◕◕₪✘·:2022-07-26 列印本頁面 返回
  感測器(英文名稱◕◕₪✘·:transducer/sensor)是一種檢測裝置│↟,能感受到被測量的資訊│↟,並能將感受到的資訊│↟,按一定規律變換成為電訊號或其他所需形式的資訊輸出│↟,以滿足資訊的傳輸◕✘▩、處理◕✘▩、儲存◕✘▩、顯示◕✘▩、記錄和控制等要求·✘◕◕。它是實現自動檢測和自動控制的首要環節·✘◕◕。
  近年來│↟,感測器技術新原理◕✘▩、新材料和新技術的研究更加深入◕✘▩、廣泛│↟,新品種◕✘▩、新結構◕✘▩、新應用不斷湧現·✘◕◕。其中│↟,“五化”成為其發展的重要趨勢·✘◕◕。
  一是智慧化·✘◕◕。一個方向是多種感測功能與資料處理◕✘▩、儲存◕✘▩、雙向通訊等的整合│↟,可全部或部分實現訊號探測◕✘▩、變換處理◕✘▩、邏輯判斷◕✘▩、功能計算◕✘▩、雙向通訊│↟,以及內部自檢◕✘▩、自校◕✘▩、自補償◕✘▩、自診斷等功能│↟,具有低成本◕✘▩、高精度的資訊採集◕✘▩、可資料儲存和通訊◕✘▩、程式設計自動化和功能多樣化等特點·✘◕◕。另一個方向是軟感測技術│↟,即智慧感測器與人工智慧相結合│↟,目前已出現各種基於模糊推理◕✘▩、人工神經網路◕✘▩、專家系統等人工智慧技術的高度智慧感測器│↟,並已經在智慧家居等方面得到利用·✘◕◕。
  二是可移動化│↟,無線感測網技術應用加快·✘◕◕。該技術被美國麻省理工學院(MIT)的《技術評論》雜誌評為對人類未來生活產生深遠影響的十大新興技術之首·✘◕◕。目前研發重點主要在路由協議的設計◕✘▩、定位技術◕✘▩、時間同步技術◕✘▩、資料融合技術◕✘▩、嵌入式作業系統技術◕✘▩、網路安全技術◕✘▩、能量採集技術等方面·✘◕◕。迄今│↟,一些發達國家及城市在智慧家居◕✘▩、精準農業◕✘▩、林業監測◕✘▩、軍事◕✘▩、智慧建築◕✘▩、智慧交通等領域對技術進行了應用·✘◕◕。
  三是微型化│↟,MEMS感測器研發異軍突起·✘◕◕。隨著整合微電子機械加工技術的日趨成熟│↟,MEMS感測器將半導體加工工藝(如氧化◕✘▩、光刻◕✘▩、擴散◕✘▩、沉積和蝕刻等)引入感測器的生產製造│↟,實現了規模化生產│↟,併為感測器微型化發展提供了重要的技術支撐·✘◕◕。目前│↟,MEMS感測器技術研發主要在以下幾個方向◕◕₪✘·:(1)微型化的同時降低功耗;(2)提高精度;(3)實現MEMS感測器的整合化及智慧化;(4)開發與光學◕✘▩、生物學等技術領域交叉融合的新型感測器·✘◕◕。
  四是整合化│↟,多功能一體化感測器受到廣泛關注·✘◕◕。感測器整合化包括兩類◕◕₪✘·:一種是同類型多個感測器的整合│↟,即同一功能的多個感測元件用整合工藝在同一平面上排列│↟,組成線性感測器(如CCD影象感測器)·✘◕◕。另一種是多功能一體化│↟,如幾種不同的敏感元器件製作在同一矽片上│↟,製成整合化多功能感測器│↟,整合度高◕✘▩、體積小│↟,容易實現補償和校正│↟,是當前感測器整合化發展的主要方向·✘◕◕。
  五是多樣化│↟,新材料技術的突破加快了多種新型感測器的湧現·✘◕◕。新型敏感材料是感測器的技術基礎│↟,材料技術研發是提升效能◕✘▩、降低成本和技術升級的重要手段·✘◕◕。除了傳統的半導體材料◕✘▩、光導纖維等│↟,有機敏感材料◕✘▩、陶瓷材料◕✘▩、超導◕✘▩、奈米和生物材料等成為研發熱點│↟,生物感測器◕✘▩、光纖感測器◕✘▩、氣敏感測器◕✘▩、數字感測器等新型感測器加快湧現·✘◕◕。

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